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　　刻蝕（ET）：LAM　9400、9600

 

　　AMAT　CENTURA　II＆I

 

　　AMAT　SEMVision　G2

 

　　離子注入（DF）：VARIAN

 

　　EATON（axcelis）

 

　　NISSIN

 

　　AMAT　PI9500　9200

 

　　光刻（PH）：NIKON　NSR

 

　　ASML　5500

 

　　太陽能光伏PECVD：centrotherm（管式鍍膜）Roth＆Rau（平板式鍍膜德國）

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